KUC-0620
超音波真空脱泡机
Description
产品介绍
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超音波真空脱泡机
Features
1. 高产能，高使用率之量产机型
2. 可高效率去除各种品牌液晶之气泡，无接触污染，可维持高洁净度
3. 自动控制超音波振荡频率20KHz
4. 无段式Throttle valve之APC压力控制系统
5. 脱泡情形CCD监视系统
6. 采用干式帮浦，可避免油气污染
7. 全自动化操作模式，亦可采用手动模式
8. 采电脑触控萤幕进行十组Recipe参数输入及储存，操作简易
9. 外观简洁整齐，占地空间小
10. 可应用于LCD和其他光电产业之各种液晶脱泡
2. 可高效率去除各种品牌液晶之气泡，无接触污染，可维持高洁净度
3. 自动控制超音波振荡频率20KHz
4. 无段式Throttle valve之APC压力控制系统
5. 脱泡情形CCD监视系统
6. 采用干式帮浦，可避免油气污染
7. 全自动化操作模式，亦可采用手动模式
8. 采电脑触控萤幕进行十组Recipe参数输入及储存，操作简易
9. 外观简洁整齐，占地空间小
10. 可应用于LCD和其他光电产业之各种液晶脱泡
Specification
真空腔洁净度：Class 50
真空腔材质：SUS304 真空腔大小：520 * 425 * 362mm
制程腔体：腔体处理：槽内外表面电解抛光
前门开关方式：气动门拉缸全自动开关
前门COVER：粉体烤漆豪华罩
机台仪器架：高强度钢，烤漆防锈处理
固 定 脚：4只 附4只活动轮
FOOTPRINT：机体1675 * 1036 * 865 箱体：1335 * 612 * 765
真空PUMP：Dry
真空压力计：MKS数位式低真空计：1000 ~ 10-1 Torr
(Unit：Pa) MKSl数位式高真空计：10 ~ 10-3 Torr
到 达 压 力：9E-3 Torr
抽真空时间：2E-2 Torr / 15 min
压力控制阀：无段式Throttle Valve –全方位控压
PLC ：MITSHUBISHI
监看系统：LED照明灯附开关CCD及K-彩色5”高解析液晶萤幕
N2 需 求：2 ~ 3 Kg/ cm² , 25 ~ 30 LPM(MFC系统控制)
CDA需求：4 ~ 5 Kg/ cm² , 3 ~ 5 LPM
电源需求：220V ,3P 3W, 60Hz, 50A
VCO 超音波：Power=1200W, Freq=20KHz 6组
真空腔材质：SUS304 真空腔大小：520 * 425 * 362mm
制程腔体：腔体处理：槽内外表面电解抛光
前门开关方式：气动门拉缸全自动开关
前门COVER：粉体烤漆豪华罩
机台仪器架：高强度钢，烤漆防锈处理
固 定 脚：4只 附4只活动轮
FOOTPRINT：机体1675 * 1036 * 865 箱体：1335 * 612 * 765
真空PUMP：Dry
真空压力计：MKS数位式低真空计：1000 ~ 10-1 Torr
(Unit：Pa) MKSl数位式高真空计：10 ~ 10-3 Torr
到 达 压 力：9E-3 Torr
抽真空时间：2E-2 Torr / 15 min
压力控制阀：无段式Throttle Valve –全方位控压
PLC ：MITSHUBISHI
监看系统：LED照明灯附开关CCD及K-彩色5”高解析液晶萤幕
N2 需 求：2 ~ 3 Kg/ cm² , 25 ~ 30 LPM(MFC系统控制)
CDA需求：4 ~ 5 Kg/ cm² , 3 ~ 5 LPM
电源需求：220V ,3P 3W, 60Hz, 50A
VCO 超音波：Power=1200W, Freq=20KHz 6组
